ВАРИСТОРИ ІЗ МОНОДИСПЕРСНИХ КЕРАМІЧНИХ ПОРОШКІВ SiC І Si3N4, ОТРИМАНІ ЗА ДОПОМОГОЮ ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЕННЯ

Анотація

Запропоновано процес отримання порошків карбіду кремнію SiC і нітриду кремнію Si3N4 з використанням випромінення CO2-лазера. Технологія відрізняється тим, що реагентні гази, які використовуються в процесі виготовлення – силан SiH4 і аміак NH3 (для отримання нітриду кремнію) або етилен С2H4 (для отримання карбіду кремнію) пропускаються через промінь CO2-лазера. При цьому виходять дрібнодисперсні, монодисперсниі (що містять сферичні частинки однакового розміру), високочисті, неагломеровані, порошки SiC и Si3N4. Виготовлена на основі таких порошків кераміка характеризується мінімальними порожнинами за рахунок монодисперсності і правильної форми частинок порошків. Варистори, виготовлені з порошку із застосуванням лазерного оброблення, мають більш високі захисні властивості.