ВАРИСТОРЫ ИЗ МОНОДИСПЕРСНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОРОШКОВ SiC И Si3N4, ПОЛУЧЕННЫЕ С ПОМОЩЬЮ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

Аннотация

Рассмотрен процесс получения порошков карбида кремния SiC и нитрида кремния Si3N4 с применением излучения CO2-лазера. Технология отличается тем, что используемые в процессе изготовления реагентные газы – силан SiH4 и аммиак NH3 (для получения нитрида кремния) или этилен С2H4 (для получения карбида кремния) пропускаются через луч CO2-лазера. При этом получаются мелкодисперсные, монодисперсные (содержащие сферические частицы одинакового размера), высокочистые, неагломерированные порошки SiC и Si3N4. Изготовленная на основе таких порошков керамика характеризуется минимальными полостями за счет монодисперсности и правильной формы частиц порошков. Варисторы, изготовленные из порошка с применением лазерной обработки, обладают более высокими защитными свойствами.