АКУСТО- ТА ОПТОЕЛЕКТРОННІ ГАЗОЧУТЛИВІ ДАВАЧІ

Анотація

Розглядуються можливості розширення діапазону аналізованих речовин, збільшення чутливості та стабільності в газових давачах, що працюють на основі акусто– та оптоелектронних ефектів. Показано, що утворення кластерів різноманітних конфігурацій на поверхні напівпровідника в процесі її оброблення різноманітними методами призводить до суттєвих змін як електронних, так і адсорбційних властивостей напівпровідникового матеріалу. Отримано зміну характеристик п’єзоелектричних сенсорів, що використовують об’ємні та поверхневі акустичні хвилі в п’єзоктристалі (резонансна частота коливань, швидкість поширення хвиль) при зміні маси адсорбованої речовини на поверхні. Такі прилади працюють в діапазоні нанограм, а їх чутливість обернено пропорційна площі електродів. При створенні волоконно-оптичних давачів основними елементами є оптичне волокно, світловипромінювальні і світлоприймальні пристрої та оптичний чутливий елемент. Крім того, необхідні спеціальні лінії для зв’язку між цими елементами або для формування вимірювальної системи із давачем.