Оптимізація лазерної поверхневої обробки напівпровідникових матеріалів з метою зниження енерговират

Abstract

Показано, що в умовах розвиненої поверхні напівпровідникових матеріалів теплову обробку можна проводити скануючим рухом лазерного променя. Запропоновано алгоритм швидкого вибору траєкторії сканування, який забезпечує мінімізацію енерговитрат і часу обробки, одночасно забезпечуючи її повноту.