АКУСТО- И ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ДАТЧИКИ

Аннотация

Рассматриваются возможности расширения диапазона анализируемых веществ, увеличения чувствительности и стабильности в газовых датчиках, работающих на основе акусто – и оптоэлектронных эффектов. Показано, что образование кластеров различных конфигураций на поверхности полупроводника в процессе ее обработки различными методами приводит к существенным изменениям как электронных так и адсорбционных свойств полупроводникового материала. Получено изменение характеристик пьезоэлектрических сенсоров, использующих объемные и поверхностные акустические волны в пьезокристалле (резонансная частота колебаний, скорость распространения волн) при изменении массы адсорбируемого вещества на поверхности. Такие приборы работают в диапазоне нанограмм, а их чувствительность обратно пропорциональна площади электродов. При создании волоконно-оптических датчиков основными элементами являются оптическое волокно, светоизлучающие и светоприемные устройства и оптический чувствительный элемент. Кроме того, необходимы специальные линии для связи между этими элементами или для формирования измерительной системы с датчиком.